多种类型轴承混合支承的超精密电主轴

摘要

本发明公开了一种多种类型轴承混合支承的超精密电主轴，它由支承系统、内装电机、壳体和转轴等部件组成。其中电主轴的支承系统由与内装电机集成的径向空气轴承、主动磁轴承和作为转轴轴向支承的双向气体止推轴承共同组成。本多种类型轴承混合支承的超精密电主轴采用回转精度高、高转速时温升极小的径向空气轴承作为主承载元件，而将便于控制的主动磁轴承作为辅助支承，修正径向空气轴承误差和外界干扰影响，双向气体止推轴承承受轴向工作载荷，从而实现主轴超高的回转精度的功能。

主权项

1.一种多种类型轴承混合支承的超精密电主轴，包括外壳(12)以及安装在外壳(12)内的定子(5)、转子(6)、与转子(6)固定连接成一体的转轴(1)和转轴支承系统，具特征在于所述转轴支承系统采用如下多种类型轴承支承结构：a.采用双向气体止推轴承作为转轴的轴向支承轴承；b.采用定子(5)与转子(6)之间构成径向空气轴承作为转轴的径向主要支承轴承；c.采用两个主动磁轴承(3、11)作为转轴的径向辅助支承轴承。