一种具有圆环面边界的微流体主动控制阀

摘要

本发明公开了一种具有圆环面边界的微流体主动控制阀，其在阀体上加工半径为R的通孔和与其同轴的圆环柱体空腔，自然形成圆环面边界，薄膜执行元件不仅与圆环柱体空腔形成密闭的流体腔通过出液通道与出液口相连，而且与圆环面边界接触将进液通道和出液通道隔开。自然状态阀关闭，外部控制信号使薄膜执行元件产生振动或变形改变与圆环面边界之间的距离，实现阀的开启、关闭及其程度。本发明能实现极小流量的控制，达到极高的流量控制精度；通过薄膜执行元件主动控制阀的开启和关闭，可以减少阀的滞后现象，提高工作效率，保证薄膜执行元件有一定预变形以提供止流特性；并且无移动的机械部件，具有响应快、可靠性和耐用性好的优点。

主权项

1、一种具有圆环面边界的微流体主动控制阀，包括阀盖、薄膜执行元件、圆环面边界、密封圈以及设置有输入流体通道和输出流体通道的阀体，所述输入流体通道与进液口相连，所述输出流体通道与出液口相连，其特征在于：在阀体上依次装有密封圈、薄膜执行元件、阀盖，阀体设置液体腔、输入流体通道和输出流体通道，薄膜执行元件通过阀盖压紧在阀体上，密封圈实现薄膜执行元件和阀座之间的密封，通过外部控制信号控制薄膜执行元件振动或变形以控制微流体主动控制阀的开启和关闭以及程度。