超声增强电镀设备和方法

摘要

一种应用超声能量增强电镀过程的电镀方法和系统。电镀方法牵涉到用具有最大超声能量密度区域的超声能量扫掠电镀表面，而同时执行电镀。该系统包括可提供在超声能量源和阴极之间相对运动的运动装置，而超声能量源和阴极位于电镀槽内部。

主权项

1.一种电镀方法，包括：提供包括电镀溶液的镀槽；提供在电镀溶液中的阳极和阴极，其中阴极包括电镀表面，该电镀表面包含至少一个具有中心轴线的空穴；使超声能量源直接位于阳极和阴极的电镀表面之间；电镀阴极的电镀表面；和在电镀时用超声能量源发射的超声能量扫掠电镀表面，其中扫掠包括移动最大超声能量密度的区域横越电镀表面，其中超声能量具有传播轴线，并且该方法包括使传播轴线与中心轴线对准。