柔性衬底薄膜太阳电池衬底的清洗方法

摘要

本发明涉及一种柔性衬底薄膜太阳电池衬底的清洗方法，由褪火、支撑、蹭试、加热超声清洗、真空烘干五个步骤组成的清洗方法，其中，200-230℃褪火1-3小时，水温至50-80℃加热，超声波清洗衬底30-60分钟，120-140℃真空条件下烘干。本发明实现对有机柔性衬底的清洗，使之达到半导体器件制造的清洁标准而不对其造成损伤。本发明是清洗用于半导体器件制造的柔性衬底的一种有效方法。

主权项

1、一种柔性衬底薄膜太阳电池衬底的清洗方法，其特征在于它是经过下述的步骤：1)按尺寸将柔性衬底薄膜裁剪，于200-230℃退火1-3小时，以消除其内在应力；2)使用专用支撑装置将其支撑拉紧绷平；3)用电子清洗剂蹭试薄膜衬底表面，以清除尘埃及颗粒污物，避免对衬底造成宏观划痕损伤；4)加热水温至50-80℃，使用中性洗涤剂超声波清洗衬底30-60分钟，以去除油污及其它水溶性杂质，用去离子水冲洗数次，氮气吹干；5)120-140℃真空条件下烘干水气，备用。