一种基于非对称干涉臂马赫曾德干涉仪型传感器

摘要

本发明公开了一种基于非对称干涉臂马赫曾德干涉仪型传感器。依次包括输入波导，1×2光功分器、两个非对称马赫曾德臂、2×1合波器，输出波导连接而成。本发明的马赫曾德干涉仪的两个臂-参考臂和测量臂分别采用两种宽度不同的波导，波导采用脊型光波导结构，待测液体作为光波导的覆盖层，待测液体折射率的变化引起的参考臂和测量臂的相位变化不等，从而在输出端引起干涉。通过测量最终的输出能量，可以测量响应的折射率变化。本发明采用非对称马赫曾德臂直接引入相位差，无需刻蚀液体槽，大大简化工艺难度，无需套刻工艺，同时拥有与传统马赫曾德型传感器比拟的特性。

主权项

1、一种基于非对称干涉臂马赫曾德干涉仪型传感器，依次包括输入波导(1)，1×2光功分器(2)、两个非对称马赫曾德臂、2×1合波器(9)，输出波导(10)连接而成；其特征在于：所述的两个非对称马赫曾德臂其中一个臂由传感臂的输入锥形波导(3)、宽度大于输入波导(1)宽度的宽直波导(4)、传感臂的输出锥形波导(5)连接而成，另一个臂由与输入波导一样宽度的直波导(6)、参考臂的输入锥形波导(7)、参考臂的输出锥形波导(8)连接而成。