| 发明名称 | 氦质谱检漏仪的进样系统 | ||
| 摘要 | 一种氦质谱检漏仪的进样方式，包括以下步骤：先关闭分子泵前级阀3和进样阀5，开旁路预抽阀2，当真空度达到5－30Pa以后，关闭前级阀3，打开进样阀5。检漏仪的灵敏度指标提高8倍。 | ||
| 申请公布号 | CN101303265A | 申请公布日期 | 2008.11.12 |
| 申请号 | CN200810132743.9 | 申请日期 | 2008.07.14 |
| 申请人 | 北京中科科仪技术发展有限责任公司 | 发明人 | 黄庆文 |
| 分类号 | G01M3/02(2006.01) | 主分类号 | G01M3/02(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1.一种氦质谱检漏仪的进样方式，其特征在于，包括以下步骤：先关闭分子泵前级阀3和进样阀5，开旁路预抽阀2，当真空度达到5-30Pa以后，关闭前级阀3，打开进样阀5。 | ||
| 地址 | 100190北京市海淀区中关村北二条13号 | ||