使用多种还原剂热蒸发制备氧化锌微/纳米结构的方法

摘要

本发明的使用多种还原剂热蒸发制备微/纳米结构氧化锌的方法属于半导体材料及其制备的技术领域。蒸发源包括ZnO粉和还原剂，还原剂可以是碳族元素材料或金属或有机化合物；在反应温度550～890℃、生长温度160～870℃、气压10⁵～10³Pa下制得产品。所述的蒸发源还可以掺杂其他元素或化合物。本发明通过改变具体工艺条件，获得具有多种形貌、尺寸、结构的ZnO产物。使用本发明的还原剂，相对以石墨为还原剂时反应温度可降低100～500℃。本发明对于富氧环境或/和高温下易氧化或易变质的衬底上，可在较低的温度下生长ZnO微米/纳米结构。

主权项

1、一种使用多种还原剂热蒸发制备氧化锌微/纳米结构的方法，其特征是，第一步配置蒸发源：蒸发源包括ZnO粉和还原剂，ZnO粉与还原剂用量按质量的配比为1∶0.2～5；蒸发源放入石英管或瓷舟内，衬底放置在石英管或瓷舟内蒸发源的下游；还原剂是碳族元素材料或金属或有机化合物；第二步制备产物：将石英管或瓷舟放置于管式炉加热区内，使蒸发源位于反应温度区，衬底位于生长温度区；在反应温度550～890℃、生长温度160～870℃下蒸发反应1～120分钟。