具有自动化对准的衬底输送设备

摘要

一种衬底处理设备设有衬底输送设备。该输送设备用于该处理设备的自动化对准。在一个方面，输送设备上的直通波束传感器被用于调平处理设备的部件。在另一个方面，输送设备上的直通波束传感器被用于确定衬底台站在平面内的位置和角度方位。在另一个方面，输送设备通过重复地将衬底放置在对准器上、记录位置数据、构建价值函数并通过使用数值技术降低价值函数而确定对准器的位置，从而自我教导衬底对准器的精确位置。

主权项

1.一种衬底处理设备，包括：形成衬底可坐落于其上的衬底台站表面的框架；和连接至所述框架用于相对于预定参考坐标系调平所述衬底台站表面的调平装置；其中，所述调平装置包括连接至所述框架的驱动系统，连接至所述驱动系统并在其上具有活动式直通波束传感器的活动臂，以及连接至所述驱动系统用于移动所述直通波束传感器并将所述直通波束传感器相对于所述衬底台站表面定位的控制系统；并且所述控制系统被编程成用以定位所述直通波束传感器，用于检测连接至所述衬底台站表面的至少一个预定几何特征，使得用所述直通波束传感器对所述预定几何特征的检测能够在所述控制系统中限定所述衬底台站表面相对于所述参考坐标系的倾斜。