发明名称 |
WO<SUB>3</SUB>厚膜气敏传感器的表面改性方法 |
摘要 |
WO<SUB>3</SUB>厚膜气敏传感器的表面改性方法,属于气敏传感器技术领域。在400~800℃的温度下保温2小时将钨酸分解;往WO<SUB>3</SUB>粉末中添加粘合剂,制得敏感材料浆料;将浆料印刷在被有叉指银电极和银电极引线的氧化铝基板上,在空气中保温烧结制备成WO<SUB>3</SUB>厚膜气敏传感器;将制得的WO<SUB>3</SUB>厚膜气敏传感器先在H<SUB>2</SUB>气氛中于保温,后在空气中保温,即制得改性后的WO<SUB>3</SUB>厚膜气敏传感器。本发明成本低廉,步骤简单,制备过程中的工艺参数容易控制,整个制备过程的能源消耗非常少,表面改性后的WO<SUB>3</SUB>厚膜气敏传感器可对待测环境中1~200ppm的CO实现高灵敏检测,且响应恢复时间短,具有重要的实际应用价值。 |
申请公布号 |
CN101303322A |
申请公布日期 |
2008.11.12 |
申请号 |
CN200810116301.5 |
申请日期 |
2008.07.08 |
申请人 |
清华大学 |
发明人 |
唐子龙;徐宇兴;张中太 |
分类号 |
G01N27/12(2006.01) |
主分类号 |
G01N27/12(2006.01) |
代理机构 |
北京市德恒律师事务所 |
代理人 |
马佑平 |
主权项 |
1、WO3厚膜气敏传感器的表面改性方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:(1)在400~800℃的温度下保温2小时将钨酸分解制备WO3粉末;(2)往步骤(1)制得的WO3粉末中添加粘合剂,搅拌均匀后,即制得敏感材料浆料;所述粘合剂为乙基纤维素、松油醇及正硅酸乙酯;(3)采用丝网印刷的方法将上述(2)中的浆料印刷在被有叉指银电极和银电极引线的氧化铝基板上,在空气中经600~800℃保温1~2小时烧结后制备成WO3厚膜气敏传感器;(4)将步骤(3)中制得的WO3厚膜气敏传感器先在H2气氛中于600~800℃保温0.5小时进行还原处理,然后将其在500~700℃的空气中保温0.5小时进行氧化处理,即制得改性后的WO3厚膜气敏传感器。 |
地址 |
100084北京市100084-82信箱 |