处理液再生方法及含于处理液的金属的回收方法

摘要

本发明提供能够以低成本有效地除去基板处理用处理液中含有的金属成分，再生该处理液的处理液再生方法等。包括：在进行基板处理的处理区域中，使处理液通过内部填充有吸附金属离子的吸附材料的可移式容器(1)内，将该处理液中的金属成分吸附于吸附材料而分离、除去的处理液再生工序；将使处理液通过的可移式容器(1)输送至从处理区域隔离的区域即再生吸附材料的吸附材料再生区域的第一输送工序；在吸附材料再生区域中，使洗提液通过从处理区域输送的可移式容器(1)内，洗提吸附于吸附材料的金属，再生该吸附材料的吸附材料再生工序；将再生了吸附材料的可移式容器(1)从吸附材料再生区域回送至处理区域的第二输送工序，在处理液再生工序中，使用吸附材料再生后的可移式容器(1)。

主权项

1.一种处理液再生方法，其是再生由于基板处理而含有金属成分的处理液的方法，其特征在于，包括：在进行所述基板处理的处理区域中，使所述处理液通过内部填充有吸附金属离子的吸附材料的可移式容器内，将该处理液中的金属成分吸附于所述吸附材料而进行分离、除去的处理液再生工序；将使所述处理液通过的可移式容器输送至从所述处理区域隔离的区域即再生所述吸附材料的吸附材料再生区域的第一输送工序；在所述吸附材料再生区域中，使洗提液通过从所述处理区域输送的可移式容器内，洗提吸附于所述吸附材料的金属，再生该吸附材料的吸附材料再生工序；将再生了所述吸附材料的可移式容器从所述吸附材料再生区域回送至所述处理区域的第二输送工序，在所述处理液再生工序中，使用吸附材料再生后的可移式容器。