滑动部件、流体动压轴承及采用其的电机

摘要

本发明提供一种防止在滑动面间产生火花放电的滑动部件和应用该构成的流体动压轴承及电机，由陶瓷形成用于对流体产生动压的相互对向的滑动面，该陶瓷包含Al₂O₃的晶粒、含在Al₂O₃晶粒中的TiC晶粒、和与Al₂O₃晶粒独立存在的TiC晶粒，且Al₂O₃和TiC的总量中的TiC含有量为5～20质量％，同时将形成两滑动面的陶瓷的体积固有电阻值R₁、R₂的范围内规定为同时满足如下三个关系式：10⁶Ω·cm＜R₁≤10¹²Ω·cm；10⁶Ω·cm＜R₂≤10¹²Ω·cm；|R₁-R₂|≤10⁵Ω·cm。

主权项

1.一种滑动装置，其含有至少2个滑动部件，该滑动部件具有用于对流体产生动压的相互对向的滑动面，其特征在于：至少由陶瓷形成各滑动部件的滑动面，该陶瓷都含有Al2O3晶粒、含在Al2O3晶粒中的TiC晶粒、和与Al2O3晶粒独立存在的TiC晶粒，并且TiC在Al2O3和TiC的总量中的含有量为5～20质量％，同时将形成1个滑动面的陶瓷的体积固有电阻值R1和形成另一个滑动面的陶瓷的体积固有电阻值R2的范围规定为同时满足式如下三个关系式：106Ω·cm＜R1≤1012 Ω·cm；106Ω·cm＜R2≤1012Ω·cm；|R1-R2|≤105Ω·cm。