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发明名称
摘要
申请公布号 DE2154046(A1) 申请公布日期 1972.05.10
申请号 DE19712154046 申请日期 1971.10.29
申请人 UNIVEL AS 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/265;(IPC1-7):H01L7/56 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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