简易真空压电传感器

摘要

本实用新型属于传感器技术领域，确切地说是一种简易真空压电传感器。由玻璃容器(1)、玻璃环(2)、硅酸镧镓晶片(3)、入口玻璃管(4)、旋塞(5)、微量注射器(6)、锥形管(7)、出口玻璃管(8)及金膜电极(9)组成，金膜电极(9)为“钥匙孔”形，用硅橡胶固定于玻璃环上构成检测池，置于长方体玻璃容器(1)中，玻璃容器(1)上方插两根带旋塞(5)的玻璃管，一根与锥形管和注射器相连，作为气体入口，另一根作为气体出口与真空泵相连。优点是同样具有纳克水平的质量灵敏度，而且其振荡能力比QCM更强，质量负载能力更大，对高粘度液体也有很好的频率响应。

主权项

1、一种简易真空压电传感器，其特征在于：它由玻璃容器(1)、玻璃环(2)、硅酸镧镓晶片(3)、入口玻璃管(4)、旋塞(5)、微量注射器(6)、锥形管(7)、出口玻璃管(8)及金膜电极(9)组成，金膜电极(9)为“钥匙孔”形，用硅橡胶固定于玻璃环上构成检测池，置于长方体玻璃容器(1)中，玻璃容器(1)上方插两根带旋塞(5)的玻璃管，一根与锥形管和注射器相连，作为气体入口，另一根作为气体出口与真空泵相连。