发明名称 Front Opening Unified Pod Door locking and unlocking device for Front Opening Unified Pod opener
摘要
申请公布号 KR100867606(B1) 申请公布日期 2008.11.10
申请号 KR20070030838 申请日期 2007.03.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/67 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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