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发明名称 PROCEDE DE GRAVURE PLASMA D'UN SUBSTRAT SEMI-CONDUCTEUR CRISTALLIN.
摘要
申请公布号 FR2905516(B1) 申请公布日期 2008.11.07
申请号 FR20060007672 申请日期 2006.09.01
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S.) ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE SCIENTIFIQUE ET TECHNOLOGIQUE 发明人 MEKKAKIA MAAZA NASREDDINE;LEFAUCHEUX PHILIPPE;RANSON PIERRE;DUSSART REMI
分类号 H01L21/3065;H01L21/308 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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