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发明名称 POLYMERE POLYZYKLISCHER OLEFINE MIT POLYEDRISCHEN OLIGOSILSESQUIOXAN SEITENGRUPPE UND DEREN EINSATZ
摘要
申请公布号 DE602005009935(D1) 申请公布日期 2008.11.06
申请号 DE200560009935T 申请日期 2005.02.11
申请人 PROMERUS LLC 发明人 RHODES, LARRY F.;SEGER, LARRY;RAVIKIRAN, RAMAKRISHNA;ELCE, EDMUND;SHICK, ROBERT;LIPIAN, JOHN-HENRY
分类号 H01L21/768;C08F230/08;C08F232/00;C08F232/08;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/075;H01L21/312 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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