| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung dünner Schichten, insbesondere Dünnschichtsolarzellen, auf einem Trägersubstrat |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19936941(B4) |
申请公布日期 |
2008.11.06 |
| 申请号 |
DE1999136941 |
申请日期 |
1999.08.05 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
ARTMANN, HANS;FREY, WILHELM;MOELLENDORF, MANFRED |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L31/0392;H01L31/18 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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