除电搬送装置及搬送时的除电方法

摘要

本发明提供一种对经过前工序的带电体进行有效的除电并搬送的除电搬送装置及搬送时的除电方法。除电搬送装置包括保持带电的玻璃基板(M)并搬送的搬送机器人(2)、和根据空气离子中和玻璃基板(M)上带的电来除电的软X射线照射器(3)。在保持玻璃基板(M)的搬送机器人(2)的臂(24)上，配设被设定为接地电位的金属丝网板(4)，以与玻璃基板(M)隔开规定的距离对置，配设软X射线照射器(3)，以至少在玻璃基板(M)与金属丝网板(4)之间形成空气离子。

主权项

1、一种除电搬送装置，包括保持带电的带电体并搬送的搬送机器人、和通过空气离子将上述带电体上带的电中和而除电的除电器，其特征在于，在保持上述带电体的上述搬送机器人的保持部上，配设被控制为规定电位的导电部件，使该导电部件在保持部保持上述带电体时隔开规定的距离与上述带电体对置；配设上述除电器，使上述空气离子至少位于上述带电体与上述导电部件之间。