发明名称 MEMS COMPONENTS AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
摘要
申请公布号 EP1986950(A1) 申请公布日期 2008.11.05
申请号 EP20070709443 申请日期 2007.01.31
申请人 NIKLAUS, FRANK;STEMME, GOERAN 发明人 NIKLAUS, FRANK;STEMME, GOERAN
分类号 B81C1/00;H01L21/98 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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