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经营范围
发明名称
MEMS COMPONENTS AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
摘要
申请公布号
EP1986950(A1)
申请公布日期
2008.11.05
申请号
EP20070709443
申请日期
2007.01.31
申请人
NIKLAUS, FRANK;STEMME, GOERAN
发明人
NIKLAUS, FRANK;STEMME, GOERAN
分类号
B81C1/00;H01L21/98
主分类号
B81C1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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