发明名称 |
用于制造硅或其他晶体材料的带的装置及制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种装置,该装置包括具有底部(2)和侧壁的坩埚(1)。坩埚(1)包括至少一个水平布置于侧壁(3)的底部的横向狭缝(4)。横向狭缝(4)具有大于50mm的宽度,优选地介于100mm和500mm之间。狭缝(4)的宽度(H)介于50和1000微米之间。晶体材料通过横向狭缝(4)从该坩埚输出,以形成晶体带(R)。该方法包括将结晶化核与通过横向狭缝(4)输出的材料接触的步骤,以及带(R)的水平位移步骤(14)。 |
申请公布号 |
CN101300686A |
申请公布日期 |
2008.11.05 |
申请号 |
CN200680040466.8 |
申请日期 |
2006.10.19 |
申请人 |
阿波朗·索拉尔公司;西伯斯塔公司 |
发明人 |
罗兰·艾因豪斯;弗朗索瓦·利萨尔德;休伯特·劳弗雷 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01) |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1.一种通过受控结晶化制造晶体材料的带(R)的装置,其特征在于,所述装置包括具有底部(2)和侧壁(3)的坩埚(1),所述坩埚(1)包括水平布置于所述侧壁(3)的底部的至少一个横向狭缝(4),所述横向狭缝(4)具有大于50mm的宽度(L)以及介于50和1000微米之间的高度(H)。 |
地址 |
法国巴黎 |