发明名称 具有铰链的微镜
摘要 一种微镜装置,包括由衬底支撑的铰链和可绕该铰链倾斜的镜板。该铰链包括选自由具有钛成分在大约30%和70%之间的钛-镍合金、钛成分在大约30%和70%之间的钛-铝合金、铜成分在大约5%和20%之间的铝-铜合金、以及氮成分在大约0和15%之间的铝钛氮化物组成的组中的一种合金。
申请公布号 CN101299093A 申请公布日期 2008.11.05
申请号 CN200710186176.0 申请日期 2007.10.26
申请人 视频有限公司 发明人 潘晓和;V·诺沃特尼;高俊德;李启光
分类号 G02B26/08(2006.01) 主分类号 G02B26/08(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 杜娟
主权项 1.一种微镜装置,包括:由衬底支撑的铰链;以及可绕该铰链倾斜的镜板,其中该铰链包括选自由具有钛成分在大约30%和70%之间的钛-镍合金、钛成分在大约30%和70%之间的钛-铝合金、铜成分在大约5%和20%之间的铝-铜合金、以及氮成分在大约0和15%之间的铝钛氮化物组成的组中的一种材料。
地址 美国加利福尼亚