| 发明名称 | 一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构，针对现有技术探测准确度低，调整困难等问题而发明，包括机台、红外传感装置及一可移动的暗盒，红外传感装置采用对射式传感装置，包括对应设置的红外发射机与红外接收机；红外发射机、红外接收机与机台连接，当暗盒放置于机台内时，红外发射机与红外接收机之间的红外光被阻挡；红外发射机与红外接收机竖直对应设置。本发明提高了探测精确度减少了误报的可能性，提高了机台生产效率延长了红外传感设备的使用寿命，理论寿命可达到原有传感设备的10倍以上，降低设备的维护成本。且本结构对原有机台的改进不大，结构简单，易安装。 | ||
| 申请公布号 | CN101298661A | 申请公布日期 | 2008.11.05 |
| 申请号 | CN200710102034.1 | 申请日期 | 2007.04.30 |
| 申请人 | 和舰科技（苏州）有限公司 | 发明人 | 赖学明 |
| 分类号 | C23C14/52(2006.01) | 主分类号 | C23C14/52(2006.01) |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 1.一种用于物理气相沉积设备的红外传感结构，包括机台、红外传感装置及一可移动的暗盒，其特征在于，红外传感装置采用对射式传感装置，包括对应设置的红外发射机与红外接收机；红外发射机、红外接收机与机台连接，当暗盒放置于机台内时，红外发射机与红外接收机之间的红外光被阻挡。 | ||
| 地址 | 215123江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 | ||