发明名称 用于磁性装置的磁性膜
摘要 本发明提供了一种能够被实际应用的磁性装置的磁性膜,该磁性膜具有大于2.45T的饱和磁化强度。该磁性膜是一种由铁、钴和钯组成的合金膜。钯的摩尔含量为1-7%,而且该合金膜通过溅射法形成。本发明还提供了另一种磁性膜,该磁性膜含有交替层叠的铁磁性膜以及钯膜或含有钯的合金膜。该钯膜或含有钯的合金膜的厚度为0.05-0.28nm,而且所述层叠的膜通过溅射法或蒸镀法形成。
申请公布号 CN100431006C 申请公布日期 2008.11.05
申请号 CN200410098212.4 申请日期 2004.11.30
申请人 富士通株式会社 发明人 野间贤二;松冈正昭
分类号 G11B5/31(2006.01);H01L43/00(2006.01);H01F41/14(2006.01) 主分类号 G11B5/31(2006.01)
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 丁香兰
主权项 1.一种用于磁性装置的磁性膜,该磁性膜包含交替层叠的铁磁性膜以及钯膜或含钯的合金膜,其中,所述钯膜或所述含钯的合金膜的厚度为0.05nm-0.28nm,而且所述层叠的膜由溅射法或蒸镀法形成。
地址 日本神奈川县