发明名称 |
用于磁性装置的磁性膜 |
摘要 |
本发明提供了一种能够被实际应用的磁性装置的磁性膜,该磁性膜具有大于2.45T的饱和磁化强度。该磁性膜是一种由铁、钴和钯组成的合金膜。钯的摩尔含量为1-7%,而且该合金膜通过溅射法形成。本发明还提供了另一种磁性膜,该磁性膜含有交替层叠的铁磁性膜以及钯膜或含有钯的合金膜。该钯膜或含有钯的合金膜的厚度为0.05-0.28nm,而且所述层叠的膜通过溅射法或蒸镀法形成。 |
申请公布号 |
CN100431006C |
申请公布日期 |
2008.11.05 |
申请号 |
CN200410098212.4 |
申请日期 |
2004.11.30 |
申请人 |
富士通株式会社 |
发明人 |
野间贤二;松冈正昭 |
分类号 |
G11B5/31(2006.01);H01L43/00(2006.01);H01F41/14(2006.01) |
主分类号 |
G11B5/31(2006.01) |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
丁香兰 |
主权项 |
1.一种用于磁性装置的磁性膜,该磁性膜包含交替层叠的铁磁性膜以及钯膜或含钯的合金膜,其中,所述钯膜或所述含钯的合金膜的厚度为0.05nm-0.28nm,而且所述层叠的膜由溅射法或蒸镀法形成。 |
地址 |
日本神奈川县 |