发明名称 非易失性存储器及其制造方法与操作方法,以及电路系统
摘要 本发明涉及一种非易失性存储器及其制造方法与操作方法,以及电路系统。该非易失性存储器包含设置于衬底上的存储单元,此存储单元具有第一单元、半导体层、第二单元与掺杂区。第一单元包含第一栅极、第一电荷陷入层与第二电荷陷入层,其中,第一电荷陷入层与第二电荷陷入层分别设置于第一栅极两侧。半导体层设置于衬底上,覆盖住第一单元。第二单元设置于半导体层上,以半导体层为对称轴,与第一单元镜像对称。第二单元包含了设置于半导体层上的第二栅极,以及分别设置于第二栅极两侧的第三电荷陷入层与第四电荷陷入层。掺杂区设置于半导体层两侧,用以作为第一单元与第二单元共用的源极/漏极区。
申请公布号 CN101299430A 申请公布日期 2008.11.05
申请号 CN200710152994.9 申请日期 2007.10.11
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 郭明昌
分类号 H01L27/115(2006.01);H01L21/8247(2006.01);G11C16/14(2006.01);G11C16/04(2006.01) 主分类号 H01L27/115(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 左一平
主权项 1.一种非易失性存储器,其特征在于包括:一存储单元,设置于一衬底上,包括:一第一单元,包括:一第一栅极;以及一第一电荷陷入层与一第二电荷陷入层,设置于该第一栅极两侧;一半导体层,设置于该衬底上,覆盖住该第一单元,且该半导体层的横向尺寸大于该第一单元的横向尺寸;一第二单元,设置于该半导体层上,以该半导体层为对称轴,与该第一单元镜像对称,该第二单元包括:一第二栅极,设置于该半导体层上;以及一第三电荷陷入层与一第四电荷陷入层,设置于该第二栅极两侧;以及一掺杂区,设置于该半导体层两侧,用以作为该第一单元与该第二单元共用的源极/漏极区。
地址 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行路16号