真空等离子体处理器及其操作方法

摘要

真空等离子体处理器包括形成等离子体处理器的底部电极或顶部电极的具有多个相互绝缘的电极的电极阵列。当电极阵列是底部电极的一部分时，阵列中的电极是响应于局部温度传感器的、热电的、Peltier效应型装置的部分以及是静电夹具的部分。热电装置控制工件的局部温度和钳位电压，所述钳位电压表示工件相对于包括电极的工件夹具的位置。把阵列中的电极耦合到电路，用于确定和/或控制在工件和/或等离子体的不同位置处的至少一个局部等离子体电参数。电路同时把具有不同频率日功率电平的RF功率提供给阵列中的不同电极，并包括连接到阵列中的不同电极的独立的匹配网络。

主权项

1.一种用于处理工件的真空等离子体处理器，包括真空箱，所述真空箱具有气体输入端口、真空端口、工件夹具、把箱中气体激励成交流等离子体的电抗器、以及用于控制在工件夹具上工件的不同局部部分的温度特性的控制器装置，所述控制器装置包括用于工件夹具上工件的不同局部部分的温度传感器，所述控制器包括与工件夹具上工件的不同局部部分相关联的多个热电装置，每个热电装置包括一对以不同方式掺杂的第一和第二半导体结构、连接在第一与第二半导体结构之间的直流电压源；电极、半导体结构和直流电压源被安排成对于电压的第一极性使第一热电装置把热量提供给第一部分，而对于电压的第二极性使第二热电装置从第二部分去除热量。