双层结构的室温红外探测器阵列及其制造方法

摘要

本发明公开了一种双层结构的室温红外探测器阵列及其制备方法，所述阵列由多个红外探测单元组成，所述探测单元为双层结构，包括上层的红外热转换层和下层的热敏感器件层；所述红外热转换层由支撑薄膜和热吸收层构成；所述热敏感器件层包括热敏感器件、位于热敏感器件下方的承载层、支撑承载层和热敏感器件并使两者悬空在衬底上的折线支撑结构，以及设在热敏感器件和互连线上方的保护层；所述的红外热转换层通过热传导柱支撑在热敏感器件层上。本发明通过纳米颗粒能够有效地提高红外辐射的吸收和热转换效率，并利用多种纳米颗粒实现多波段甚至全波段的红外敏感测量，折线支撑结构能有效地降低热敏感器件的热量损失，提高绝热能力和探测率。

主权项

1.一种双层结构的室温红外探测器阵列，所述阵列由多个红外探测单元组成，其特征在于，所述的探测单元为双层结构，包括上层的红外热转换层和下层的热敏感器件层；所述的红外热转换层由支撑薄膜和位于支撑薄膜上方的热吸收层构成；所述的热敏感器件层包括热敏感器件、位于热敏感器件下方的承载层、支撑承载层和热敏感器件并使两者悬空在衬底上的折线支撑结构，以及设在热敏感器件和互连线上方的保护层；所述的红外热转换层通过热传导柱支撑在热敏感器件层上。