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发明名称 MEASURING SYSTEM FOR THE ACQUISITION OF THE LAYER THICKNESS OF A DEPOSIT
摘要
申请公布号 EP1987319(A1) 申请公布日期 2008.11.05
申请号 EP20070711522 申请日期 2007.02.13
申请人 ASHLAND DEUTSCHLAND GMBH;EMTEC ELECTRONIC GMBH 发明人 GRUENER, GISELHER;OEQVIST, LOTTA KANTO
分类号 G01B11/06;G01N21/51;G01N33/483 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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