| 发明名称 | 基板运送处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种可在运送基板的过程中进行涂敷工序的基板运送处理装置。该基板运送处理装置将在待机工站(S1)待机的基板(W)用运送叉具(4)送入定位工站(S2)，将在该定位工站(S2)进行了定位的基板(W)用运送叉具(5)送入旋转工站(S3)。然后，在从定位工站(S2)向旋转工站(S3)运送的过程中从运送叉具(5)所具有的喷嘴(58)向基板(W)的表面供应涂敷液。 | ||
| 申请公布号 | CN100430152C | 申请公布日期 | 2008.11.05 |
| 申请号 | CN200610149986.4 | 申请日期 | 2006.10.25 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 熊泽博嗣 |
| 分类号 | B05C13/02(2006.01);C03C17/00(2006.01);H01L21/677(2006.01) | 主分类号 | B05C13/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 雒运朴;徐谦 |
| 主权项 | 1.一种基板运送处理装置，具有往返于相邻的工站之间的运送叉具，该基板运送处理装置的特征在于，上述运送叉具具有：在与基板的运送方向相交叉的方向延伸的横梁、以及安装于该横梁且支撑基板的下表面的支撑构件，在上述横梁上安装有向运送中的基板的上表面供应涂敷液的喷嘴。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||