发明名称 Method for forming via hole of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100866688(B1) 申请公布日期 2008.11.04
申请号 KR20060135524 申请日期 2006.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址