发明名称 | 清洁系统及清洁方法 | ||
摘要 | 一种清洁系统及清洁方法。清洁系统包括清洗设备及乾燥设备,清洗设备包括至少一清洗槽,可提供水溢流效果。乾燥设备包括治具、容置槽、旋转底座、驱动装置及空气循环系统。容置槽包括盖体;旋转底座系设置于容置槽中,可承载治具;驱动装置可驱动旋转底座使其旋转;空气循环系统系于容置槽密闭时使槽内空气循环对流,空气循环系统包括空气循环管路、风箱及加热装置,加热装置系可加热于空气循环管路中流动之空气。 | ||
申请公布号 | TW200841944 | 申请公布日期 | 2008.11.01 |
申请号 | TW096115194 | 申请日期 | 2007.04.27 |
申请人 | 原津工业股份有限公司 | 发明人 | 吴锡书 |
分类号 | B08B3/04(2006.01);B08B3/00(2006.01);H01L21/30(2006.01) | 主分类号 | B08B3/04(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 陈启桐;廖和信 | |
主权项 | |||
地址 | 台北县新店市中正路531之1号 |