发明名称 清洁系统及清洁方法
摘要 一种清洁系统及清洁方法。清洁系统包括清洗设备及乾燥设备,清洗设备包括至少一清洗槽,可提供水溢流效果。乾燥设备包括治具、容置槽、旋转底座、驱动装置及空气循环系统。容置槽包括盖体;旋转底座系设置于容置槽中,可承载治具;驱动装置可驱动旋转底座使其旋转;空气循环系统系于容置槽密闭时使槽内空气循环对流,空气循环系统包括空气循环管路、风箱及加热装置,加热装置系可加热于空气循环管路中流动之空气。
申请公布号 TW200841944 申请公布日期 2008.11.01
申请号 TW096115194 申请日期 2007.04.27
申请人 原津工业股份有限公司 发明人 吴锡书
分类号 B08B3/04(2006.01);B08B3/00(2006.01);H01L21/30(2006.01) 主分类号 B08B3/04(2006.01)
代理机构 代理人 陈启桐;廖和信
主权项
地址 台北县新店市中正路531之1号