向异导电性连接器、探针构件及晶圆检查装置

摘要

本发明提供即使检查对象的晶圆为大面积者，且积体电路之被检查电极的总数为10000以上者，当被加压时，可在全部的导电部中获得均匀导通性的异向导电性连接器、探针构件及具备该探针构件之晶圆检查装置。本发明之异向导电性连接器系由形成有复数个异向导电膜配置用孔的框板、及配置在框板之异向导电膜配置用孔内，且在异向导电膜配置用孔之周边部予以支持的复数个弹性异向导电膜所构成，弹性异向导电膜之各个系具有：在弹性高分子物质中稠密地含有呈现磁性的导电性粒子而成之朝厚度方向延伸的复数个连接用导电部、以及将该等连接用导电部相互绝缘的绝缘部，配置在框板中之周边区域之弹性异向导电膜之连接用导电部的厚度系小于配置在该框板中之区域之弹性异向导电膜之连接用导电部的厚度。