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发明名称
量测玻璃片扭曲之量计
摘要
目前要提出的是座标量测装置,用来量测一个或多个平面基板中的扭曲和/或尺寸变动。在一方面,此座标量测装置包含底座组件,由底座平板构成,它的顶面经过配置来接收平面基板;和影像捕捉装置多个尺寸阵列,每一影像捕捉装置都有视场,并且所放置的平面跟底座平板顶面的至少一部分平行且叠置对齐。这多个影像捕捉装置的指向垂直于多维阵列平面,使得每一影像捕捉装置的视场都可以捕捉到底座平板顶面的至少一部分。此外,这多个影像捕捉装置的每一个都可以选择性的放置在多个尺寸阵列平面内所界定出预定座标上。
申请公布号
TW200842313
申请公布日期
2008.11.01
申请号
TW096143825
申请日期
2007.11.19
申请人
康宁公司
发明人
罗伯威德耳夏普
分类号
G01B11/245(2006.01);G01B11/30(2006.01)
主分类号
G01B11/245(2006.01)
代理机构
代理人
吴洛杰
主权项
地址
美国
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