发明名称 用以固定一基材的复合式吸附垫片及其制造方法
摘要 本发明系关于一种用以固定一基材的复合式吸附垫片及其制造方法。该复合式吸附垫片包括一缓冲层及一吸附层。该缓冲层具有复数个连通性孔洞。该吸附层系位于该缓冲层上,用以吸附一基材,该缓冲层之压缩率系高于该吸附层之压缩率。藉此,本发明之复合式吸附垫片因具有较低之硬度而具有较佳之吸附效果,同时,本发明之复合式吸附垫片因具有较高之压缩率而具有较佳之缓冲效果。
申请公布号 TW200842962 申请公布日期 2008.11.01
申请号 TW096115357 申请日期 2007.04.30
申请人 三芳化学工业股份有限公司 发明人 冯崇智;姚伊蓬;王良光;古宗耀
分类号 H01L21/304(2006.01);B24D13/14(2006.01) 主分类号 H01L21/304(2006.01)
代理机构 代理人 蔡东贤
主权项
地址 高雄县仁武乡凤仁路402号