半导体测试装置

摘要

本发明提供一种半导体测试装置，可藉由消除缆线衰减所导致之误判定使测试稳定，特别是具有即使缆线长度变化亦易于对应之通用性。本发明之半导体测试装置，对DUT1施加测试讯号，以比较器4比较自DUT1被输出，经由传送通路2而来之比较器输入讯号(输入电压)V2与比较电压VOH、VOL，再以判定电路5将比较结果与期待值进行逻辑比较，以进行合格/故障判定；其特征在于：期待值有变化时，使比较电压为对应于该传送通路2之讯号衰减量而衰减之比较电压VOH2、VOL2。