用于高纯度流体处理系统的止回阀及泵

摘要

一种用于包括泵与流体通道之高纯度流体处理系统与零件之单向、自行致动的无弹簧式止回阀，该止回阀包括固定式、但具有弹性的可变形阀构件，此阀构件与一阀座合作，以停止在一方向上的流体流动，而且当流体压力超过预定程度时可弯折而离开阀座。此止回阀被布署于一高纯度计量泵内。