基板处理装置

摘要

于处理区域中设有复数个背面洗净单元及主机器人。主机器人设在位于处理区块之一侧面侧的背面洗净单元、与设在处理区块之另一侧面侧的背面洗净单元之间。在载入机区块与处理区块之间，上下邻接设有：用于反转基板之反转单元；及用于在载入机器人与主机器人之间收送基板的基板载置部。主机器人在复数个背面洗净单元、基板载置部及反转单元之间搬送基板。