用于整合基材制程系统之软体定序器

摘要

本发明之实施例大体上提出排程处理程序的设备和方法，使具有一组限制的丛集工具达到最大产能和制程一致性。本发明之一实施例提出排程处理程序的方法，包含指派资源进行处理程序以决定起始个别排程、计算基本周期、侦测依个别排程与基本周期产生之排程的资源冲突、以及调整个别排程来排除资源冲突。