具有使用复数个ＶＨＦ源之离子分布均匀度控制器的电浆反应器

摘要

本发明提供了一种电浆反应器，其包括面对工件支撑底座的顶电极和在底座中的底座电极，以及耦接到该顶电极和底座电极中相同或不同电极之具有不同频率的第一和第二VHF功率源。该第一和第二VHF功率源分别具有充分高和充分低的频率，以在腔室内分别产生中心高和中心低的电浆分布非均匀性。该反应器还包括控制器，该控制器系经程式化以改变第一和第二VHF功率源的相对输出功率水平以：（a）当电浆离子分布具有显着地边缘高的非均匀性时，增加第一VHF功率源的相对输出功率水平；以及（b）当电浆离子分布具有显着地中心高的非均匀性时，增加第二VHF功率源的相对输出功率水平。