发明名称 |
微影装置及元件制造方法 |
摘要 |
在一微影装置中,一控制系统之一前馈转移函数系由以下操作来判定:a)藉由对于一给定设定点信号之迭代学控制来迭代学该控制系统之一前馈输出信号;b)判定该学到之前馈输出信号与该设定点信号间之一关系;及c)应用该关系作为该控制系统之该前馈转移函数。仅针对一或多个特定设定点信号所学之一学到的前馈可经调适以提供一视设定点信号而定之前馈输出信号。可使该学到之前馈对于设定点变化更为稳健。 |
申请公布号 |
TW200842516 |
申请公布日期 |
2008.11.01 |
申请号 |
TW097104091 |
申请日期 |
2008.02.01 |
申请人 |
ASML荷兰公司 |
发明人 |
马克 康士坦 乔翰尼斯 贝根;比特斯 马里斯 克里斯汀 马里亚 凡 登 比吉勒;邹殷廷;马瑟尔 法兰可伊斯 希尔杰;雷米丁 拉萨尔 卡米迪;丹尼斯 安卓亚斯 比特斯 修伯提那 豪班;贝根 康斯坦特 保罗 马利 乔瑟夫;马力那斯 杰寇伯斯 杰拉德斯 凡 登 莫伦葛拉夫 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01);G05B19/02(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
荷兰 |