| 摘要 |
本发明系一种研磨头，具备：一环状刚性环；一橡胶环，以均匀的张力接着于该刚性环；一中板，结合于上述刚性环，与上述橡胶膜、上述刚性环一起形成一空间部；以及一环状的模板，其外径大于上述刚性环的内径，与上述刚性环同心地设置于上述橡胶膜的底面部的周边部；能以压力调整机构改变上述空间部的压力，工作件的背面保持于上述橡胶膜的底面部，该工作件的表面滑动接触于已贴附于平台上的研磨布来进行研磨，其特征在于：上述模板的内径小于上述刚性环的内径，该刚性环与模板之间的内径差、和上述模板的内径与外径之间的差的比，为26%以上45%以下。藉此，能提供一种研磨头，可安定地获得一定的平坦性。 |
