| 摘要 |
课题 利用反射照明光与透射照明光，来区别产生于图案的表面的凹坑与突起，仅凹坑检测作为不良。解决手段 一种图案检查装置，属于在形成于光透射性基板1上的图案2，依据照明光的摄影画像来判定图案2的良否的图案检查装置，其特征为：具备，照射中心光线对于基板1大约正交的照明光的第一照明手段31，及设于基板1的背面侧而从将检查领域6(藉由第一照明手段31被照明的领域)投影在对于基板1的法线方向的领域对于基板1照射照明光的第二照明手段32，及设于与依第一照明手段31的照射方向相同方向的摄影手段33，及控制第一照明手段31与第二照射手段32的控制手段4，控制手段4是同时地进行依第一照明手段31与第二照明手段32的照明，摄影手段33是摄影同时地被照明的图案2。 |
