| 摘要 |
【课题】本发明系提供一种自动外观检查装置，可避免失去摄影倍率自主性，同时不会受到因位移感测器之电线电缆的存在所造成对转换器之动作限制。【解决手段】提供一种自动外观检查装置1，其系建构成可在进行对象工件K之外观检查用摄影之前先行自动对焦。其具备有：转换器53,系保持复数个物镜11且可选择其中一个物镜作为检查用；摄影机构51,对通过被选择之物镜所获得之图像进行摄影；位移感测器进退机构13,系使位移感测器12进退于被选择之物镜与对象工件之间；记忆机构81,系将在对象工件上之基准位置PB的物镜之最佳对焦变位，作为基准变位LB而预先记忆；及驱动机构6,其根据位移感测器所测定迄至对象工件为止的位移LS，与记忆在记忆机构之基准变位，驱动转换器朝向上下方向驱动而使物镜能进行最佳对焦位移。 |
