减压乾燥装置

摘要

本发明旨在以良好效率、安全且顺畅地进行被处理基板之搬出入，并能使基板上之涂布膜附着到基板接触部之转印痕迹减至最小程度。本发明中，减压乾燥单元(VD)46，将应接受减压乾燥处理之基板G藉由搬入侧滚子运送通道104a及内部滚子运送通道104b上之滚子运送，搬入腔室106之中，并将于腔室106内减压乾燥处理完毕的基板G藉由内部滚子运送通道104b及搬出侧滚子运送通道104c上之滚子运送，搬出到腔室106之外。减压乾燥处理中，多数根的升降销128将基板G维持水平姿势，从滚子运送通道104b往上方抬起，并由极细的销尖端部支持。