电浆蚀刻过渡金属氧化物之方法

摘要

本发明提供一种使用一氧化碳作为初级源气体来电浆蚀刻过渡金属氧化物薄膜的方法。此允许在无需加热的情况下在环境温度下使用羰基化学作用。