微尘吸附装置及使用此吸附装置之导引装置

摘要

本发明提供一种微尘吸附装置及使用此吸附装置之导引装置。导引装置系用于牵引移动平台，具有滑动座连结于移动平台下方，移动平台则具有臂部。微尘吸附装置包含吸附部及定位部，与导引装置配合使用。其中，吸附部设置于滑动座之一侧，定位部则连接吸附部而与臂部相连，当导引装置牵引移动平台而产生微尘，该微尘为吸附部所吸附。