无尘室进气净化设备

摘要

一种无尘室进气净化设备，主要系于外气入口连设一微污染(Airborne Molecular Contamination,AMC)净化设备，该微污染净化设备中系设有至少一吸附机构，该吸附机构上系涂布有一吸附层，以吸附外气内所含之微污染物，该微污染净化设备后方连设一外气空调箱(Make Up Air Unit,MAU)，该外气空调箱之出口系直接导入无尘室；藉此，以令外部补气可提供对补气品质要求较高的无尘室使用者。