光学积分器、照明光学系统、曝光装置以及元件制造方法

摘要

本发明的具有二维并列配置的多个波前分割元件的光学积分器的构成，使得倾斜入射至波前分割元件的入射面的光轴中心后的光线群与光轴平行地自波前分割元件射出。而且，于多个波前分割元件中的所需数量的波前分割元件（100A）中，以轴线（104）为中心倾斜地形成有该波前分割元件（100A）的至少一个曲面状的光学面（100a、100b），此轴线(104)通过该波前分割元件的入射面（100a）的光轴中心（100aa）且在与光轴AXe正交的规定方向（x方向）上。