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经营范围
发明名称
小批量用之装载器与缓冲储存器
摘要
一种系统,包含一装载埠及一转移模组。在一实施例中,该装载埠包含:一板,具有一第一开口及一第二开口;一第一工件存取埠;一第二工件存取埠;及至少一储存位置。该(等)储存位置可位于该第二工件存取埠下方或该第一工件存取埠上方。位于相邻该装载埠之处的该转移模组,包含一装载臂,用以在该第一工件存取埠、该第二工件存取埠、任何储存架与一物料运送系统之间,移动该工件容器。
申请公布号
TW200843018
申请公布日期
2008.11.01
申请号
TW096144963
申请日期
2007.11.27
申请人
亚西斯特技术股份有限公司
发明人
安东尼C 包诺拉;瑞哲G 海因;第欧朵W 瑞哲斯;麦克 寇拉克
分类号
H01L21/677(2006.01)
主分类号
H01L21/677(2006.01)
代理机构
代理人
许峻荣
主权项
地址
美国
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