光罩布局之量测方法

摘要

本发明揭露一种光罩布局之量测方法，其系先置将一光罩置放于检测机台上，并针对此光罩上复数图案、与图案之间所夹设之间隙区域进行检测，最后根据所获得之图案、间隙区域之量测结果以判定光罩是否为良品、废品或是需要再次加工之重工品。因此，本发明所提供之光罩布局之量测方法系可同时检测经由曝光制程所形成之图案外，亦同时对于此些图案之间的相对位置进行检测，可确保光罩中整体布局图案之正确性，以提升光罩之品质并可提供充足之资讯以做为制程调整之参考。