曝光设备及装置制造方法

摘要

一种曝光设备包含：一载台，配置成保持一原片于其上，并沿水平方向移动；一第1干涉仪，配置成发出用来测量载台于一垂直方向之一位置之第1测量光；一第1镜，设在载台之一底面上；以及一第2镜，直接设在第1镜下方。第2镜配置成将自第1干涉仪发出之第1测量光导至第1镜。